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Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Langue AnglaisAnglais
Livre Livre relié
Livre Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications Hiroyuki Fujiwara
Code Libristo: 04878436
Éditeurs John Wiley & Sons Inc, janvier 2007
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semicond... Description détaillée
? points 546 b
222.89 € TVA incluse
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Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

Actrice & Polyglotte
EWA KASP pour
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Ewa Kasp
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À propos du livre

Nom complet Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications
Auteur Hiroyuki Fujiwara
Langue Anglais
Reliure Livre - Livre relié
Date de parution 2007
Nombre de pages 392
EAN 9780470016084
ISBN 0470016086
Code Libristo 04878436
Éditeurs John Wiley & Sons Inc
Poids 762
Dimensions 157 x 235 x 26

Catégories

Mathématiques et sciences > Physique > Optique physique
Technologie, ingénierie et agriculture, procédés industriels > Génie mécanique et matériels > Science des matériaux
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