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MEMS

Design and Fabrication

Langue AnglaisAnglais
Livre Livre relié
Livre MEMS Mohamed Gad-El-Hak
Code Libristo: 06705780
Éditeurs Taylor & Francis Inc, novembre 2005
Details the techniques, technologies, and materials involved in designing and fabricating MEMS devic... Description détaillée
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Details the techniques, technologies, and materials involved in designing and fabricating MEMS devices. This volume offers an overview of MEMS materials and examines various fabrication and manufacturing methods, including LIGA and macromolding, X-ray based fabrication, EFAB[registered] technology, and deep reactive ion etching.

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À propos du livre

Nom complet MEMS
Auteur Mohamed Gad-El-Hak
Langue Anglais
Reliure Livre - Livre relié
Date de parution 2005
Nombre de pages 664
EAN 9780849391385
ISBN 9780849391385
Code Libristo 06705780
Éditeurs Taylor & Francis Inc
Poids 1153
Dimensions 178 x 254 x 37

Catégories

Technologie, ingénierie et agriculture, procédés industriels > Ingénierie électronique et technologie des communications > Génie électronique
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