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Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects

Langue AnglaisAnglais
Livre Livre de poche
Livre Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects Rene Hubner
Code Libristo: 06423929
Éditeurs Nova Science Publishers Inc, mars 2009
Copper has become the standard metallisation material for on-chip interconnects in high-performance... Description détaillée
? points 109 b
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Copper has become the standard metallisation material for on-chip interconnects in high-performance microprocessors. This book intends to carry out microstructure and functional property investigations for advanced, high-performance Tabased diffusion barriers before and after annealing to compare their thermal stabilities.

Actrice & Polyglotte
EWA KASP pour
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Ewa Kasp
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À propos du livre

Nom complet Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects
Auteur Rene Hubner
Langue Anglais
Reliure Livre - Livre de poche
Date de parution 2009
Nombre de pages 102
EAN 9781604564518
ISBN 9781604564518
Code Libristo 06423929
Éditeurs Nova Science Publishers Inc
Poids 192
Dimensions 153 x 227 x 8

Catégories

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