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Silizium-Halbleitertechnologie

Name: Silizium-Halbleitertechnologie
Brand: Springer, Berlin
SKU: 43704690
Price: 39.99 EUR
Availability: InStock
Author: Ulrich Hilleringmann
ISBN: 9783658423773

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Ulrich Hilleringmann

Language

German

Book Paperback

Libristo code: 43704690

Publishers Springer, Berlin, December 2023

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroel... Full description

Libristo code: 43704690

98 b

39.99 € VAT included

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Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.